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本发明提供一种硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液，其以抛光液总重量为基准，包含０．０１－５ｗｔ％的氧化剂、０．０１－４ｗｔ％的表面活性剂、０．０１－３ｗｔ％的有机添加剂、０．２－３０ｗｔ％的氧化铈抛光颗粒及ｐＨ调节剂、水性介质。此抛光液...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明提供一种硫系化合物相变材料氧化铈化学机械抛光液，其以抛光液总重量为基准，包含０．０１－５ｗｔ％的氧化剂、０．０１－４ｗｔ％的表面活性剂、０．０１－３ｗｔ％的有机添加剂、０．２－３０ｗｔ％的氧化铈抛光颗粒及ｐＨ调节剂、水性介质。此抛光液...