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一种制备低反射率的单晶硅绒面结构的方法技术
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文档序号:16503556
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本发明公开了一种制备低反射率的单晶硅绒面结构的方法,先以传统方法在硅片表面形成大量四面方锥体,再通过碱醇溶液浸泡处理,在硅片表面形成很多的纳米孔。这种具有纳米结构的“金字塔”形状的硅片表面的反射率得到了得到进一步降低,同时,硅片表面的载流子...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。
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