下载一种制备低反射率的单晶硅绒面结构的方法的技术资料

文档序号:16503556

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种制备低反射率的单晶硅绒面结构的方法,先以传统方法在硅片表面形成大量四面方锥体,再通过碱醇溶液浸泡处理,在硅片表面形成很多的纳米孔。这种具有纳米结构的“金字塔”形状的硅片表面的反射率得到了得到进一步降低,同时,硅片表面的载流子...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。