下载LTPS基板及其制作方法、薄膜晶体管、阵列基板和显示装置的技术资料

文档序号:16503525

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本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种LTPS基板及其制作方法、薄膜晶体管、阵列基板和显示装置。所述一种LTPS基板,能够用于薄膜晶体管的制作,包括遮光层,所述遮光层主要由掺杂镧系元素的非晶硅构成。本发明通过采用主要由掺杂镧系元素的非晶硅膜层...
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