下载一种阵列基板的制作方法、阵列基板及显示装置的技术资料

文档序号:16503323

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本发明涉及一种阵列基板的制作方法、阵列基板及显示装置,用以解决现有的TFT基板制作工艺较为复杂、亟需有效的方式既能减少光刻工艺又不会降低产品良率的问题。该制作方法包括:在衬底基板上形成栅极金属层图案、栅极绝缘层薄膜、有源层图案和源漏极金属层...
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