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本发明提供了薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置。该薄膜晶体管包括:基板;设置在基板一个表面上的栅极;设置在基板的一个表面上、且覆盖栅极的栅绝缘层;设置在栅绝缘层远离基板表面上的有源层;设置在栅绝缘层和有源层远离基板表面上的源极和漏极...该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供了薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板和显示装置。该薄膜晶体管包括:基板;设置在基板一个表面上的栅极;设置在基板的一个表面上、且覆盖栅极的栅绝缘层;设置在栅绝缘层远离基板表面上的有源层;设置在栅绝缘层和有源层远离基板表面上的源极和漏极...