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本发明相关于一种应用于化学气相沉积装置的气体分流喷头，该气体分流喷头包含至少一个单层结构的气体分流层，用以对各种气体进行分流。此气体分流层包含圆盘状主体、多条第一气体通道、多条第二气体通道、以及多条第三气体通道，其中，第一气体通道、第二气体...
该专利属于汉民科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过汉民科技股份有限公司授权不得商用。

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