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本发明提供扫描曝光装置及器件制造方法。扫描曝光装置将掩膜图案向基板的感光层曝光，具备：多个光源部，在将被照射照明光的狭缝状的照明区域分为第1方向长且第2方向短的多个部分照明区域时，多个光源部与多个部分照明区域的数量相对应地设置，且分别射出具...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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