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本发明公开了一种孔径测量设备及导电结构中的通孔的孔径测量方法，用以降低测量孔径大小的测量时间。孔径测量设备包括：孔径测试部件、第一导线、第二导线和测量模块；孔径测试部件包括直径不同的若干电阻段，各段电阻段按照直径递增或递减的顺序依次串接；孔...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司授权不得商用。