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本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备真空腔室回气导流装置，镀膜设备至少包括密封盖板、设于密封盖板上连通真空腔室内外的多个空气进出口。每个空气进出口下方均设有对流入空气起到缓冲导流作用的缓冲导流板，缓冲导流板包括位于密封盖板下方并正对空气进出...该专利属于吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司授权不得商用。