下载一种半导体器件及其制备方法和电子装置的技术资料

文档序号:16483618

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本发明涉及一种半导体器件及其制备方法和电子装置。所述方法包括:提供晶圆,在所述晶圆上形成有若干相互间隔的图像传感器器件;在所述晶圆和所述图像传感器器件的上方隔离地形成涂覆支撑结构,以在所述涂覆支撑结构与所述晶圆之间形成隔离空间,并且所述涂覆...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

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