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一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法技术方案
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下载一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法的技术资料
文档序号:16482434
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本发明涉及一种用于微区空间相干图样的光学系统,该系统包括沿光路依次设置的显微镜(2)、第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9);该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(...
该专利属于中国科学院化学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院化学研究所授权不得商用。
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