一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法技术方案

本发明专利技术涉及一种用于微区空间相干图样的光学系统，该系统包括沿光路依次设置的显微镜(2)、第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)；该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(11)、第三全反镜(13)、第二双缝干涉成像透镜(14)和电荷耦合器件(16)；双缝、第一双缝干涉成像透镜、第二全反镜、成像透镜和第二双缝干涉成像透镜为可移动元件，通过各可移动元件在光路上的放置或去除形成不同的光学路径。本发明专利技术还提出了该系统的工作方法。该系统和方法能通过干涉图样的采集来测量微纳尺度下的光源的空间相干性以及相干面积，弥补现有光学显微系统的不足。

Optical system for micro space coherent pattern and its working method

The invention relates to an optical system for spatially coherent patterns, the system includes sequentially along the optical microscope (2), the first mirror (3), the first lens (4), double slit (5), the first double slit interference imaging lens (7), second (full mirror 9); the system also includes second along the mirror (9) of the reflected light path of the imaging lens are sequentially arranged (11), third mirror (13), second double slit interference imaging lens (14) and charge coupled device (16); the first double slit and double slit interference imaging lens, second mirror, an imaging lens and second double slit interference imaging lens is a movable element through the movable element to form a different optical path in the optical path of the placement or removal. The working method of the system is also presented. The system and method can measure the spatial coherence and coherence area of light source in micro and nano scale by the acquisition of interference pattern, so as to make up for the shortcomings of the existing optical microscopy system.

【技术实现步骤摘要】
一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法
本专利技术涉及一种光学成像领域，具体涉及一种用于微区空间相干图样的光学系统及其工作方法。
技术介绍
具有空间相干性的光源在照明、显示、测量以及信息处理等方面已经展现出极其重要的应用价值。光源在空间不同区域可能具有不固定的相位差，只有在一定空间范围内的光波才有相对固定的相位差，使得只有一定空间内的光波才是相干的，这种特性叫做波的空间相干性。研究光源的空间相干性，不仅有利于设计和制备不同结构和不同尺度的高质量相干光源，而且有利于通过相干性质反过来研究发光物质的形态和属性。目前用来研究光场空间相干性的典型装置是杨氏双缝，它可用来比较两个狭缝处光场的相位关系。从狭缝出来的两束光在相遇区域若满足振动方向相同、振动频率相同、相位相同或相位差保持恒定，那么在两束光相遇的区域内就会产生干涉现象。随着微纳米技术的飞速发展，对光与物质相互作用的研究进入微纳尺度的领域，使纳米光子学得到极大发展。纳米光子学领域所发现的一些独特的光子学性质，使其有可能应用于具有快速、低损耗、高带宽等信息处理的集成光子学回路。对微纳尺度光源的性质研究以及通过光学现象来研究微纳尺度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于微区空间相干图样的光学系统，其特征在于，该系统包括沿光路依次设置的显微镜(2)、第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)；该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(11)、第三全反镜(13)、第二双缝干涉成像透镜(14)和电荷耦合器件(16)；其中，双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)、成像透镜(11)和第二双缝干涉成像透镜(14)为可移动元件，通过各可移动元件在光路上的放置或去除形成不同的光学路径。

【技术特征摘要】
1.一种用于微区空间相干图样的光学系统，其特征在于，该系统包括沿光路依次设置的显微镜(2)、第一全反镜(3)、第一透镜(4)、双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)；该系统还包括沿第二全反镜(9)的反射光路上依次设置的成像透镜(11)、第三全反镜(13)、第二双缝干涉成像透镜(14)和电荷耦合器件(16)；其中，双缝(5)、第一双缝干涉成像透镜(7)、第二全反镜(9)、成像透镜(11)和第二双缝干涉成像透镜(14)为可移动元件，通过各可移动元件在光路上的放置或去除形成不同的光学路径。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该系统还包括沿第一全反镜(3)的反射光路并在第二全反镜(9)后依次设置的第四全反镜(17)、第二透镜(18)和光纤接口(19)，当所述第二全反镜(9)从光路上去除时，原本经第二全反镜(9)反射的光经第四全反镜(17)反射后经过第二透镜(18)和光纤接口(19)。3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，该系统还包括转盘和三维平移台(6)，所述双缝在转盘上可拆卸安装，调节转盘能够使双缝转动到任意角度，三维平移台能够使双缝在前后、左右、上下三个维度上移动，从而通过转盘和三维平移台调节所述双缝的位置。4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述双缝(5)所处平面与样品面共轭，通过双缝(5)在其所处平面上进行位置调...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵永生，李勇军，闫永丽，
申请(专利权)人：中国科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11