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一种晶圆放置装置及放置晶圆的方法，其中晶圆放置装置包括：盒体，所述盒体侧壁设置有多组卡槽，所述卡槽适于固定待放置的晶圆，所述卡槽具有晶圆输入端；引导装置，所述引导装置包含多组引导槽，所述引导槽适于对接于所述晶圆输入端，各组引导槽适于和所对接...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。