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加速度度量传感器和便携式电子装置制造方法及图纸
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下载加速度度量传感器和便携式电子装置的技术资料
文档序号:16476195
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本公开涉及一种加速度度量传感器和便携式电子装置。加速度度量传感器包括:承载结构;半导体材料的悬置区域,相对于所述承载结构可移动;至少一个第一调制电极,固定至所述承载结构并且被配置用于在使用中采用包括具有第一频率的至少一个周期性分量的电调制信...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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