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一种硅片倒小弧度圆角工装制造技术
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文档序号:16466092
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本实用新型公开一种硅片倒小弧度圆角工装,由给进组件和夹具组件两部分组成,所述夹具组件的顶部夹持硅片,底部与研磨机连接并在所述研磨机的驱动下带动所述硅片高速旋转;所述给进组件包括工作台,安装在所述工作台上的刀架,以及固定在所述刀架上的刀具,所...
该专利属于中锗科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中锗科技有限公司授权不得商用。
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