下载一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统的技术资料

文档序号:16463813

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本实用新型涉及一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,包括氯气净化系统、碱液循环系统、智能控制系统、液氯汽化系统。所的智能控制系统为整套氯气回收系统的核心,通过数据线分别与所述的氯气净化系统、碱液循环系统和液氯汽化系统相连接。所述的碱液循环系统...
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