The utility model relates to an automatic chlorine recovery system for polycrystalline silicon production line, which comprises a chlorine purification system, a lye circulation system, an intelligent control system and a chlorine liquid vaporization system. The intelligent control system is the core of the chlorine recovery system, which is connected with the chlorine purification system, lye circulation system and liquid chlorine vaporization system through the data line. The alkali circulation system and the liquid chlorine vaporization system are connected with the chlorine purification system through the pipeline respectively. The utility model not only can realize the automatic recovery of polysilicon production in purification of liquid chlorine vaporization of chlorine gas in the air, also can make emergency response to the failure of liquid chlorine vaporization system, realize the recovery of fault condition of chlorine purification, contribute to the realization of the safe production of liquid chlorine vaporization section.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统
本技术涉及多晶硅生产线的配套装置,尤其涉及一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统。
技术介绍
传统的多晶硅生产工艺为将工业硅粉与气态氯化氢在流化床内反应,生成三氯氢硅、四氯化硅及少量二氯氢硅、聚氯硅烷、金属氯化物等汽体混合物。将其冷凝得到液态混合物,用分馏提纯的方法从冷凝液中分离出高纯度的三氯氢硅。再将三氯氢硅、氢气按一定比例混合、汽化引入多晶硅还原炉。在置于还原炉内的U型棒状硅芯两端施加一定的电压、电流,控制工艺所需温度。三氯氢硅被氢气还原成元素硅,并沉积在硅芯表面,逐渐生成所需规格尺寸的多晶硅棒。在多晶硅生产过程中,氯化氢合成工段需要用到大量的氯气,因此液氯汽化生产工段存在氯气泄露、空气中氯气超标的危险,且容易发生氯气中毒的安全生产事故,造成人员伤亡和财产的损失。因此开发一种液氯汽化工段的氯气回收净化系统,对于保障多晶硅生产过程中的本质安全、降低安全生产事故的发生几率,对于保护生命安全和减少财产损失具有重要的意义。本技术针对多晶硅生产过程中液氯汽化存在的安全隐患,专利技术了一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,可实现液氯汽化工段故障时氯气的回收和净化处理。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种自动控制操作的多晶硅生产线的氯气自动回收系统。为解决上述问题,本技术所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:该系统包括氯气净化系统、碱液循环系统、智能控制系统和液氯汽化系统;所述的智能控制系统为整套自动回收系统的中枢,通过数据传输线分别与所述的氯气净化系统、碱液循环系统和液氯汽化系统相连;所述的碱液循环系统、液氯 ...
【技术保护点】
一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:该系统包括氯气净化系统(1)、碱液循环系统(2)、智能控制系统(3)和液氯汽化系统(4);所述的智能控制系统(3)为整套自动回收系统的中枢,通过数据传输线分别与所述的氯气净化系统(1)、碱液循环系统(2)和液氯汽化系统(4)相连;所述的碱液循环系统(2)、液氯汽化系统(4)分别通过管道与所述的氯气净化系统(1)相连。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:该系统包括氯气净化系统(1)、碱液循环系统(2)、智能控制系统(3)和液氯汽化系统(4);所述的智能控制系统(3)为整套自动回收系统的中枢,通过数据传输线分别与所述的氯气净化系统(1)、碱液循环系统(2)和液氯汽化系统(4)相连;所述的碱液循环系统(2)、液氯汽化系统(4)分别通过管道与所述的氯气净化系统(1)相连。2.如权利要求1所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:所述的氯气净化系统(1)由吸风管道(11)、智能分级风机I(12)、氯气吸收塔(13)、智能分级风机II(14)和烟筒(15)组成;所述的氯气净化系统(1)由吸风管道(11)、智能分级风机I(12)、氯气吸收塔(13)、智能分级风机II(14)和烟筒(15)通过管道依次进行连接;所述的智能分级风机I(12)通过管道与所述的液氯汽化系统(4)相连,通过数据传输线与所述的智能控制系统(3)相连;所述的氯气吸收塔(13)同时通过管道与所述的碱液循环系统(2)相连;所述的智能分级风机II(14)通过数据传输线和管道同时与所述的智能控制系统(3)和氯气吸收塔(13)相连。3.如权利要求1所述的一种多晶硅生产线的氯气自动回收系统,其特征在于:所述的碱液循环系统(2)由碱液循环罐(21)、智能控制泵I(22)、智能控制泵II(23)、碱液储罐(24)、智能控制泵III(25)、智能控制泵IV(26)和废液储罐(27)组成;所述的碱液循环罐(21)通过管道与所述的智能控制泵I(22)、氯气吸收塔(13)、智能控制泵...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。