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5-亚甲-1,3-二噁茂烷-4-酮衍生物、聚合物、化学增幅型抗蚀组合物及形成方法技术
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文档序号:1646311
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本发明的目的在于提供一种新型单聚物及其制造方法,该单聚物具有适合与其它单聚物共聚合的聚合特性,并可获得优良的光透性及热稳定性;灵敏度、分辨率不损失及耐干腐蚀抗腐蚀剂性能、与有机溶剂的溶解性优良、线性边缘粗糙度小;并提供一种形成方法,该方法适...
该专利属于三菱丽阳株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱丽阳株式会社授权不得商用。
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