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本发明提出一种基于数字图像处理的激光槽的特征智能化自动识别方法，利用一种三维检测系统，例如白光垂直扫描干涉轮廓仪可以得到纵向分辨率<1.0nm，横向分辨率最高可达0.35μm的真实高度对应的数字图像，即每个像素对应一个高度数据。通过数...
该专利属于镇江超纳仪器有限公司（中外合资）所有，仅供学习研究参考，未经过镇江超纳仪器有限公司（中外合资）授权不得商用。

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