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一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法制造方法及图纸
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文档序号:16455091
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本发明适用于压电元件气密性检测,提供了一种压电元件气密性的检测装置,包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室,频率发生器通过导线与信号检测装置相连接,形成检测电路,每一开关的一端连接导线,开关的另一端连接待检测的压电元件,待检测的...
该专利属于应达利电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应达利电子股份有限公司授权不得商用。
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