一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法制造方法及图纸

本发明专利技术适用于压电元件气密性检测，提供了一种压电元件气密性的检测装置，包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室，频率发生器通过导线与信号检测装置相连接，形成检测电路，每一开关的一端连接导线，开关的另一端连接待检测的压电元件，待检测的压电元件放置于气密测试室内，待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，待检测的压电元件的另一端接地线，所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。本发明专利技术实施例在进行大批量压电元件的气密性检测时，只需要获取压电元件在不同压力下，在谐振点的前后数据变化，就能判断该压电元件气密性是否良好，不需要通过目测、外接振荡电路等，检测方法简单，检测速度快。

A device for detecting the tightness of piezoelectric elements and its detection method

The invention is suitable for air tightness detection of piezoelectric element, provides a detection device of a piezoelectric element of the tightness, including frequency generator, signal detection device, a plurality of switches and air tightness test room, frequency generator is connected by wire and signal detection device, detection circuit, one end of each switch for connecting wires. Connect the other end of the switch detection of piezoelectric element, piezoelectric element to be detected is placed on indoor air testing, one end of the piezoelectric element to be detected and the switch is connected to the detection of piezoelectric element on the other end of the grounding wire, the signal detection device for detecting the voltage and phase detection circuit the difference. The embodiment of the invention in detecting air tightness of large quantities of piezoelectric elements, only need to get the piezoelectric element under different pressure, changes in the data before and after the resonant point, you can judge the piezoelectric element is good air tightness, need not through the eye, external oscillating circuit, the detection method is simple, detection rate fast.

【技术实现步骤摘要】
一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法
本专利技术属于压电元件气密性检测领域，尤其涉及一种压电元件气密性的检测装置及其检测方法。
技术介绍
压电元件一般采用气密密封，以保护其谐振性能不受外部环境影响。气密性不良产生泄漏时，除影响其谐振性能外，由于泄漏物质的不确定性，对压电元件构成不可靠性风险。检测气密性的方法大致可分三类。第一类是浸泡，即将被检测器件浸泡在液体中，采用加压方式以加快渗漏速度，当液体渗进气密性不良器件腔体后，通过检测器件的性能，如绝缘性来判断被测器件的气密性。浸泡的另一种方式是将被检测器件浸泡在加热后的氟油，被检测的器件因升温使内部气体膨胀，使泄漏处产生气泡，通过目测检查以确认器件的气密性。第二类是压差检漏，该方法是在预压室内预先加压、密封，然后将被测器件置于测试室内、密封，打开预压室与测试室的通道，通过压力变化计算测试室内空间，当被检测器件气密不良，测试室内有效空间会增大，压力较气密产品低，从而判断被检测产品气密不良。另一压差检漏方式是将被检测压电元件连接振荡电路，通过检测振荡幅度推断其谐振阻抗，对比常压和加压后的谐振阻抗变化以判断被测压电元件的气密性。第三类是质谱本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压电元件气密性的检测装置，其特征在于，包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室；所述频率发生器通过导线与所述信号检测装置相连接，形成检测电路；每一所述开关的一端连接所述导线，所述开关的另一端连接待检测的压电元件；所述待检测的压电元件放置于所述气密测试室内，所述待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，所述待检测的压电元件的另一端接地线。所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。

【技术特征摘要】
1.一种压电元件气密性的检测装置，其特征在于，包括频率发生器、信号检测装置、若干开关和气密测试室；所述频率发生器通过导线与所述信号检测装置相连接，形成检测电路；每一所述开关的一端连接所述导线，所述开关的另一端连接待检测的压电元件；所述待检测的压电元件放置于所述气密测试室内，所述待检测的压电元件的一端与所述开关相连接，所述待检测的压电元件的另一端接地线。所述信号检测装置用于检测所述检测电路的电压和相位差。2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述信号检测装置为矢量电表。3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括开关切换装置；所述开关切换装置，与所述开关相连接，用于按照预置控制规则控制若干所述开关的闭合或断开。4.一种采用如权利要求1至3任一项所述的检测装置的压电元件气密性检测方法，其特征在于，包括：在所述气密测试室初始气压状态下，测试得到所有待测压电元件在各自谐振点时所述信号检测装置检测到的第一传输信号衰减值；所述谐振点为所述待检测压电元件的有效工作频率；在所述气密测试室气压变化状态下，测试得到所有待测压电元件在各自谐振点时所述信号检测装置检测到的第二传输信号衰减值；对于每个待测压电元件，若其对应的第一传输信号衰减值与第二传输信号衰减值的差值大于预设的差值阈值，则判定该待测压电元件气密性不良；其中，在充气和非充气状态测试每个待测压电元件的传输信号衰减值时，控制仅当前测试的压电元件所对应的开关接通。5.如权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述在所述气密测试室初始气压状态下，测试得到所有待测压电元件在各自谐振点时所述信号检测装置检测到的第一传输信号衰减值包括：在所述气密测试室初始气压状态下，按照预置检测顺序，将待检测的压电元件所对应的开关接通，并将其余的开关设置为开路；...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋振声，覃觉平，吴广宇，谢俊超，郑万忠，
申请(专利权)人：应达利电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44