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本实用新型为一种具有图案化冷却盘的温度均匀化晶圆托盘结构，其是在下电极板结合有图案化冷却盘，并借由图案化冷却盘的图案设计，使下电极板的中央区域及外围区域与图案化冷却盘的接触面积产生差异，形成不同程度的冷却。借由本实用新型的实施，可以使晶圆托...
该专利属于聚昌科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚昌科技股份有限公司授权不得商用。

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