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本实用新型公开了一种三维硅基片式薄膜电容器，包括硅基体，制造在硅基体上的微型孔洞，在孔洞内形成的薄膜电容器功能层和顶电极层以及硅基体背面的底电极层；所述硅基体为低电阻率硅基体，晶向100，单面抛光；所述功能层为二氧化硅和氮化硅双层结构；所述...
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