下载含钼金属膜的蚀刻液组合物及利用其的显示装置用阵列基板的制造方法的技术资料

文档序号:16451369

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本发明提供一种含钼金属膜的蚀刻液组合物及利用其的显示装置用阵列基板的制造方法,所述含钼金属膜的蚀刻液组合物以一定含量包含过氧化氢、氟化合物、唑系化合物、羟胺衍生物、和水。...
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