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本发明涉及沉积装置和沉积方法。根据本发明一实施方式的沉积装置包括对衬底执行沉积工艺的沉积单元、包括固定所述衬底的载体以及传送所述载体的传送部件的传送单元、以及布置成与所述沉积单元相邻并且对所述载体执行维修的维护单元，并且所述传送部件包括维护...
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