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本发明涉及一种镀膜系统及镀膜方法，镀膜系统包括基板、位于基板下方的镀膜源、第一膜厚监控装置和第二膜厚监控装置，第一膜厚监控装置位于基板与镀膜源之间，第二膜厚监控装置邻近基板。两个膜厚监控装置可协同工作，提升了设备的稳定性和可靠性。第二膜厚监...
该专利属于茆胜所有，仅供学习研究参考，未经过茆胜授权不得商用。

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