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本发明涉及一种类金刚石薄膜。该类金刚石薄膜包括:沉积于基材之上的金属打底层;沉积于所述金属打底层之上的金属碳化物过渡层;沉积于所述金属碳化物过渡层之上的第一类金刚石层,该第一类金刚石层为功能性类金刚石层;沉积于所述第一类金刚石层之上的第二类...该专利属于维达力实业(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过维达力实业(深圳)有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种类金刚石薄膜。该类金刚石薄膜包括:沉积于基材之上的金属打底层;沉积于所述金属打底层之上的金属碳化物过渡层;沉积于所述金属碳化物过渡层之上的第一类金刚石层,该第一类金刚石层为功能性类金刚石层;沉积于所述第一类金刚石层之上的第二类...