下载微滴离子溅射工艺以及水轮机制备方法的技术资料

文档序号:16451314

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本发明涉及增材制造微滴离子溅射技术领域,且特别涉及一种微滴离子溅射工艺以及水轮机制备方法。该工艺利用两个溅射头对待溅射基体相对的两个表面同时进行溅射,形成打印层防护层;其中,溅射使用的打印层原料的粒径为10‑20纳米。其能够同时对待溅射基体...
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