下载一种外延锡酸锶钴薄膜及其制备方法的技术资料

文档序号:16451306

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本发明涉及一种外延锡酸锶钴薄膜及其制备方法,以钙钛矿结构的单晶或立方结构的单晶为衬底,以锡酸锶钴陶瓷为靶材,采用脉冲激光沉积技术在所述衬底上沉积外延锡酸锶钴薄膜,所述延锡酸锶钴薄膜的化学组成为SrSn1‑xCoxO3,0<x<1,其中Co原...
该专利属于中国科学院上海硅酸盐研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海硅酸盐研究所授权不得商用。

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