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本发明提供一种化学机械抛光液，属于蓝宝石衬底的化学机械抛光技术领域。本发明所述的一种化学机械抛光液包含纳米磨料、邻苯二酚和含水载体。此化学机械抛光液尤其适合超硬材料蓝宝石的化学机械抛光。...
该专利属于浙江晶圣美纳米科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶圣美纳米科技有限公司授权不得商用。

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