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本发明公开了一种等离子改进制备亚纳米球形硅微粉的方法，包括硅粉研磨、筛分、预反应、反应、冷却步骤。其中硅粉研磨用研磨液和研磨盘操作，研磨得的硅粉筛分一定粒度范围，硅粉进入等离子反应炉，抽真空，先在较低温度下预热，充氩气后再程序升温，升温后熔...
该专利属于苏州吉云新材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州吉云新材料技术有限公司授权不得商用。

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