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本发明属于微机械惯性传感器封装领域，具体涉及一种微机械惯性传感器的三维封装方法。本发明采用三氧化二铝陶瓷烧成用于惯性微机械传感器的三维封装结构，该结构具有两个互相垂直的正方形端面，两个端面直接通过金属沟槽联通，将装载有微机械惯性传感器的敏感...该专利属于中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所授权不得商用。