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本实用新型提供一种类金刚石镀膜制备设备，包括：真空腔体、伴热装置、扩散器、流量控制器；其中，所述流量控制器一端设有导入管，另一端设有第一导出管，所述第一导出管与所述扩散器导通；所述扩散器通过第二导出管与所述真空腔体导通，所述伴热装置分别设置...
该专利属于凯里学院所有，仅供学习研究参考，未经过凯里学院授权不得商用。

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