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一种紫外LED外延结构制造技术
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下载一种紫外LED外延结构的技术资料
文档序号:16429892
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本申请提供一种紫外LED外延结构,包括:衬底;依次生长在所述衬底上的未掺杂缓冲层、N型AlGaN层、多量子阱结构、超晶格结构、电子阻挡层、P型AlGaN层和P型GaN层;其中,所述超晶格结构包括至少一层第一AlGaN层和至少一层第二AlGa...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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