下载一种发光二极管的外延片及制备方法的技术资料

文档序号:16429890

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本发明公开了一种发光二极管的外延片及制备方法,属于光电子制造技术领域。该外延片包括衬底和依次层叠在衬底上的u‑GaN层、n型层、发光层、电子阻挡层和p型层,电子阻挡层包括高温子层和低温子层,高温子层为AlxGa1‑xN层或InAlxGa1‑...
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