下载一种碳空心球与多孔掺硼金刚石复合膜传感器电极的制备方法的技术资料

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一种碳空心球与多孔掺硼金刚石复合膜传感器电极的制备方法。制备步骤如下:1)利用热丝CVD法在钽片上沉积掺硼金刚石膜,在腔室通入氢气,碳源和硼源,开灯丝电源,加偏压,调节压强和控制温度、时间;2)采用射频磁控溅射仪在掺硼金刚石膜上镀镍,向真空...
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