下载一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法的技术资料

文档序号:16418084

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本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法,制备方法主要包括:(1)对基体进行前处理,使其表面清洁、光滑;(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体,并将沉积室气压抽至1.5×10...
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