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本发明涉及一种包括硅基板(10)的湿度传感器(1)，在所述硅基板(10)上布置有若干个金属间介电层(16)和金属层，所述金属间介电层(16)中的每一个设置有金属区(18)，其中所述金属层(20)被蚀刻以形成两个电极(22)，每一个电极包括设...
该专利属于EM微电子-马林有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过EM微电子-马林有限公司授权不得商用。

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