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一种垂直腔面发射激光器制造技术
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文档序号:16400542
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本发明提供了一种垂直腔面发射激光器,包括:衬底;第一缓冲层,生长在所述衬底上;N型DBR反射镜,生长在所述第一缓冲层上;有源层,生长在所述N型DBR反射镜上;P型DBR反射镜,生长在所述有源层上;第二缓冲层,生长在所述P型DBR反射镜上;P...
该专利属于聊城大学所有,仅供学习研究参考,未经过聊城大学授权不得商用。
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