下载干式蚀刻用热反应型抗蚀剂材料、模具的制造方法及模具的技术资料

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微细凹凸结构体(10)具备蚀刻层(11)和设置于前述蚀刻层(11)上的由干式蚀刻用热反应型抗蚀剂材料构成的抗蚀剂层(12),与形成于前述抗蚀剂层(12)上的开口部(12a)对应的凹凸结构形成于蚀刻层(11)中,凹凸结构的微细图案的图案间距P...
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