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本发明公开了一种开放式光罩存储装置,包括存储箱体,所述存储箱体一侧的下部为敞口结构,该敞口结构的正上方设有出风口,由该出风口流出的气流向下运动,形成气墙并覆盖所述敞口结构;所述存储箱体内的上部设有化学过滤器、风机和空气过滤器;所述存储箱体内...该专利属于亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚翔系统集成科技(苏州)股份有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种开放式光罩存储装置,包括存储箱体,所述存储箱体一侧的下部为敞口结构,该敞口结构的正上方设有出风口,由该出风口流出的气流向下运动,形成气墙并覆盖所述敞口结构;所述存储箱体内的上部设有化学过滤器、风机和空气过滤器;所述存储箱体内...