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本实用新型提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置,该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台;装置在校准状态下,辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中;分光镜放置于光瞳测量位置后;共轭...该专利属于中国工程物理研究院应用电子学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院应用电子学研究所授权不得商用。
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本实用新型提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置,该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台;装置在校准状态下,辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中;分光镜放置于光瞳测量位置后;共轭...