一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置，该方案包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台；装置在校准状态下，辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中；分光镜放置于光瞳测量位置后；共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路；CCD相机固定于电控平移台上；装置在测试状态下，移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑。该方案利用电控平移台改变CCD相机与共轭成像镜头目镜的距离S，实现对不同位置激光束光瞳的在线高精度扫描测量。

Pupil online measuring device based on imaging conjugate

The utility model provides a pupil measuring device based on the conjugate imaging, including auxiliary calibration, calibration wedge mirror aperture, beam splitter, conjugate imaging lens, CCD camera, motorized stage; in the calibration device state, auxiliary calibration wedge mirror, auxiliary calibration aperture turn into the optical path of laser beam in placed in the pupil; spectroscopic measurement position; optical lens, CCD camera conjugateimaging placed in the spectroscope CCD camera; fixed on a motorized translation stage; in the device under test, auxiliary school removed the optical path of quasi wedge mirror and auxiliary aperture calibration. In this scheme, the distance between the CCD camera and the conjugate imaging eyepiece eyepiece is changed by using the electrically controlled translation platform, and the online high-precision scanning measurement of the pupil of the laser beam at different positions is realized by S.

【技术实现步骤摘要】
一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置
本技术涉及的是光束参数测量
，尤其是一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置。
技术介绍
激光应用领域中，激光束传输过程的全程监测与控制对保证激光系统实现相应功能至关重要。激光束在线监测内容涵盖光轴、光瞳、能量、重频、功率等多个方面，对光瞳的测量可确定激光束传输至某一位置处的光束截面位置。在工业生产涉及高功率激光的应用领域中，激光束光瞳位置的偏离，可导致激光束传输至中继光学元件时由“切边”引起的光学、机械件损伤，增大复杂光学系统的像差。为防止传输过程光能损失、充分保证激光束光束质量和系统安全性，需精确掌握激光束传输全过程的参数，在线高精度测量光瞳位置信息对激光束传输的监测和控制具有重要意义。已有专利“一种基于子孔径分割的光路耦合对准装置及对准方法”(授权公告号：CN102768411B)针对两个及两个以上光学平台间的光路耦合，巧妙利用原有功能系统中多子孔径的附带有光瞳、光轴信息的特点，提出采用基于子孔径分割的光路耦合对准装置及对准方法。该技术采用缩束系统实现光束口径变换，用于匹配微透镜阵列和CCD探测器的尺寸，缩束后的光束经过微透镜阵列成像于CCD本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置，其特征是：包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台；所述装置在校准状态下，辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中；所述分光镜放置于光瞳测量位置后；所述共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路；所述CCD相机固定于电控平移台上；所述装置在测试状态下，移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑；所述电控平移台位于CCD相机下方，作为CCD相机的支撑件，能够带动CCD相机沿光路传输方向前后移动。

【技术特征摘要】
1.一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置，其特征是：包括有辅助校准楔镜、辅助校准光阑、分光镜、共轭成像镜头、CCD相机、电控平移台；所述装置在校准状态下，辅助校准楔镜、辅助校准光阑依次放入激光束中继光路中；所述分光镜放置于光瞳测量位置后；所述共轭成像镜头、CCD相机依次放置于分光镜后的光路；所述CCD相机固定于电控平移台上；所述装置在测试状态下，移除光路中的辅助校准楔镜和辅助校准光阑；所述电控平移台位于CCD相机下方，作为CCD相机的支撑件，能够带动CCD相机沿光路传输方向前后移动。2.根据权利要求1所述的一种基于成像共轭的光瞳在线测量装置，其特征是：所述辅助...

【专利技术属性】
技术研发人员：王锋，邹凯，陈天江，周彦卿，卢飞，雒仲祥，马立斌，余鸿铭，张永红，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院应用电子学研究所，
类型：新型
国别省市：四川,51