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本发明公开了一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置，该电解方法包括：(1)在电解槽中电解盐水，并向电解槽中添加盐酸维持阴极槽呈弱酸性；(2)将电解制得的氯气直接通入蚀刻液中，使蚀刻液中的二价铁离子再生被阳极产生的氯气氧化为三价铁离...该专利属于宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波东盛集成电路元件有限公司;宁波东顺电子科技有限公司授权不得商用。