一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置，该电解方法包括：(1)在电解槽中电解盐水，并向电解槽中添加盐酸维持阴极槽呈弱酸性；(2)将电解制得的氯气直接通入蚀刻液中，使蚀刻液中的二价铁离子再生被阳极产生的氯气氧化为三价铁离子，刻蚀废液得到再生；(3)再生后的刻蚀废液中的三价铁离子循环利用转化为二价铁离子，二价铁离子被持续通入的氯气氧化为三价铁离子，实现三氯化铁蚀刻液的循环再生。本发明专利技术用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置，确保了刻蚀液中三氯化铁的稳定性，减少了废液的排放，节约了废液处理成本，提高了三氯化铁的使用寿命。

A cyclic electrolysis method for regeneration of ferric chloride etching solution and its device

The invention discloses a method and device for circulating electrolytic method of ferric chloride etching solution regeneration, including the electrolytic method: (1) in the electrolytic tank electrolytic brine, and adding hydrochloric acid is weak acid to maintain cathode electrolytic cell; (2) the electrolytic chlorine gas directly into the etching solution, the two chlorine oxidation ferrous ion regeneration in the etching solution was generated by anode for ferric ion etching waste regeneration; (3) ferric ion etching waste liquid circulation after regeneration in use into two valent iron ion, chlorine oxidation of two valent iron ions are continuously inlet for ferric ion, implementation the recycling of ferric chloride etching solution. The invention is used for electrolytic etching liquid recycling method of ferric chloride and regeneration device, ensure the stability of iron trichloride etching liquid, reduce waste emissions, save waste disposal costs, improve the service life of ferric chloride.

【技术实现步骤摘要】
一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置
本专利技术涉及电解
，尤其涉及一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法及其装置。
技术介绍
金属刻蚀法与其它成型方法相比，具有操作简单、多品种、小批量、周期短等优点，在各个领域中的应用日益扩大，如牌匾制作、仪器设备表面图文刻印、制造印刷用的金属字板、在机械加工较为困难的薄板或薄片零件(电子线路板、金属网板的小孔以及光栅)等器件上进行部分刻蚀，获得一定深度的图形或文字，从而达到功能或装饰效果。工业上钢铁等可以采用三氯化铁方法进行刻蚀，三氯化铁溶液作为蚀刻液具有低成本、刻蚀速度快、无毒、无挥发等特点，但随着三氯化铁溶液高价铁浓度的降低蚀刻效率下降，并逐渐失去刻蚀能力，刻蚀液变稠变色，刻蚀废液中总铁含量增加，三价铁转化为二价铁，同时被刻蚀的金属或其合金如铬、锰、镍等毒害杂离子进入刻蚀液。工厂常用简单的废液再生方法是加入氧化剂H2O2和适量的HCl，使产生的Fe2+重新氧化变成起腐蚀作用的Fe3+，或通入Cl2气氧化，但实际效果并不理想，刻蚀能力仅为原液的3％左右。三氯化铁蚀刻废液产量大，若不经处理排放，不仅造成环境污染，而且大量的铁等本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在电解槽中电解盐水，产生氯气、氢气和氢氧化钠，并向阴极液室中添加盐酸维持阴极液室内阴极电解液呈弱酸性；2NaCl+2H2O＝通电＝2NaOH+H2↑+Cl2↑NaOH+HCl＝＝＝NaCl+H2O；(2)将步骤(1)电解制得的氯气直接通入蚀刻液中，使蚀刻液中的二价铁离子再生被阳极产生的氯气氧化为三价铁离子，三氯化铁刻蚀废液颜色由深绿色又逐渐变回黄棕色，刻蚀废液得到再生；Cl2+2FeCl2＝＝2FeCl3；(3)步骤(2)再生后的刻蚀废液中的三价铁离子循环利用转化为二价铁离子，二价铁离子被持续通入的氯气氧化为三价铁离子，...

【技术特征摘要】
1.一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)在电解槽中电解盐水，产生氯气、氢气和氢氧化钠，并向阴极液室中添加盐酸维持阴极液室内阴极电解液呈弱酸性；2NaCl+2H2O＝通电＝2NaOH+H2↑+Cl2↑NaOH+HCl＝＝＝NaCl+H2O；(2)将步骤(1)电解制得的氯气直接通入蚀刻液中，使蚀刻液中的二价铁离子再生被阳极产生的氯气氧化为三价铁离子，三氯化铁刻蚀废液颜色由深绿色又逐渐变回黄棕色，刻蚀废液得到再生；Cl2+2FeCl2＝＝2FeCl3；(3)步骤(2)再生后的刻蚀废液中的三价铁离子循环利用转化为二价铁离子，二价铁离子被持续通入的氯气氧化为三价铁离子，依此循环，实现三氯化铁蚀刻液的循环再生。2.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，所述阴极液室内阴极电解液的pH值为5-7。3.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，所述阴极液室内阴极电解液为饱和食盐水。4.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，所述电解的电流密度为5-10A/dm2。5.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，所述电解槽电解过程中采用换热器使阴极液室和阳极液室内的电解盐水温度为55-60℃。6.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解方法，其特征在于，所述阴极液室内的液体呈内循环状态。7.一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，包括溶盐槽(1)、整流器(2)、盐水高位槽(3)、整流器降温槽(4)、盐酸槽和电解槽(7)，其中，所述溶盐槽(1)经盐水泵与所述盐水高位槽(3)连通，所述盐水高位槽(3)分别连通所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾旭，梁泰频，
申请(专利权)人：宁波东盛集成电路元件有限公司，宁波东顺电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33