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本发明公开了阴极旋转机构，包括：阴极源总成，安装在真空溅射腔室内壁上；阴极靶筒，一端连接至所述阴极源总成并可沿所述阴极源总成旋转；穿设在所述阴极靶筒内的循环水回水管，其连接至设置在所述阴极源总成上的供水管，且连通至所述循环水回水管与所述阴极...
该专利属于苏州胜利精密制造科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州胜利精密制造科技股份有限公司授权不得商用。

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