下载一种低缺陷高品质多晶硅锭的技术资料

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本实用新型公开了一种低缺陷高品质多晶硅锭,包括多晶硅锭,多晶硅锭的外边侧设置有复合保护膜,复合保护膜的内部设置有防尘夹层,防尘夹层的底端设置有防撞夹层,防撞夹层的底端设置有防护夹层,防护夹层的底端设置有防皱夹层。本实用新型是一种低缺陷高品质...
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