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多晶硅块及其制造方法技术
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文档序号:16394614
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本发明涉及多晶硅块及其制造方法。所述多晶硅块为方形并且在其表面上具有小于200pptw的金属含量和小于50ppta的掺杂剂含量。所述制造方法包括:提供多晶硅棒,将所述多晶硅棒粉碎成方形块,以及对多晶硅块进行清洁,其中,使用具有至少一个齿辊的...
该专利属于瓦克化学股份公司所有,仅供学习研究参考,未经过瓦克化学股份公司授权不得商用。
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