下载溅射靶和溅射仪的技术资料

文档序号:16391837

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本实用新型提供了一种溅射靶和溅射仪,溅射靶包括:溅射板,溅射板上设置有溅射孔;遮挡板,遮挡板遮挡在溅射孔处,遮挡板可运动地设置以调整遮挡板所遮挡的溅射孔的通流面积。本实用新型中的溅射靶解决了现有技术中的假体结构的寿命较低的问题。...
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