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提供一种元件制造方法。本发明的元件制造方法包括：第1工序，得到被加工物(100)的面方向上的厚度分布；第2工序，根据所述厚度分布与期望的膜厚分布的差分，计算出加工量分布；第3工序，根据所述加工量分布，对所述被加工物进行局部加工；第4工序，在...
该专利属于京瓷株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过京瓷株式会社授权不得商用。

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